단일 국책개발 사업으로는 유례가 없는 대규모 장비 개발 사업인 ‘나노반도체장
비 원천기술상용화사업’이 9월 시작된다.

　이 사업은 아직 전 세계적으로 상용화 단계에 도달하지 않은 40나노대 이하 최첨
단 미세공정 장비를 국내 수요기업과 장비업계가 공동 기획해 개발하는 것으로, 국
내 장비산업은 물론이고 반도체업계의 경쟁력을 높이고 글로벌화를 한층 앞당길 것
으로 기대된다.

　지금까지 나노공정 장비는 해외 선진 장비업체들이 주도하고 국내 장비업계는 상
용화된 장비를 국산화하는 수준에 머물러 왔다.

　7일 정부와 관련업계에 따르면 향후 5년간 총 사업비 2500억원(정부 70%·민간 
30%) 규모가 투입되는 나노반도체장비 원천기술상용화사업이 이르면 9월부터 정부
·대기업·중소기업 공동 프로젝트로 진행된다.

　정부와 업계는 이 사업을 통해 수요업체가 바로 양산에 적용할 수 있는 차세대 
45∼22나노급 상용 장비를 개발하는 동시에 원천기술까지 발굴·확보한다는 전략이
다.  
 
 
특히 나노반도체장비 원천기술상용화사업은 이례적으로 삼성전자·하이닉스반도체
·동부하이텍 등 국내 주요 반도체업체와 장비업계가 모두 참여해 1년 이상의 준비
기간을 거쳐 공동 기획했다.

　예산규모나 사업내용으로 볼 때 이번 프로젝트는 경기침체로 미래 연구개발
(R&D) 투자에 어려움을 겪고 있는 반도체장비업계가 기술 개발로 한 단계 도약할 
수 있는 계기로 작용할 전망이어서, 관련 장비업계의 관심도 어느 때보다 높은 상
황이다.

　장비업계 한 CEO는 “국내 장비업계도 이제는 단순한 해외장비의 국산 대체를 넘
어 세계시장을 겨냥해 세상에 존재하지 않는 최첨단 장비를 먼저 개발하려는 노력
이 필요하다”며 “이번 나노반도체장비 원천기술상용화사업은 대·중소기업이 협
력해 이같은 글로벌형 장비를 확보하자는 취지여서 과제 획득을 위한 국내 중견 장
비업계 간 경쟁도 치열할 것”이라고 밝혔다.

　민관은 1차연도인 올해에는 예산을 180억원(정부 120억원·민간 60억원)으로 책
정했으며, 2차연도부터는 규모를 연평균 500억원으로 대폭 늘려 2011년까지 총 
2500억원을 투입한다는 계획이다.

　산자부 관계자는 “조만간 1차연도 사업신청 접수 및 평가를 거쳐, 9월 식각·증
착·검사 등 국산화가 시급하거나 세계를 주도할 수 있는 품목 10개 안팎을 선정
할 예정”이라며 “올해 예산 확보와 기획 작업은 마무리됐다”고 밝혔다.

　 심규호기자@전자신문, khsim@etnews.co.kr